日本shibaura多離子規(guī)真空計 GMi系列

GMi系列的特點

• 廣域測量可以測量
  從大氣壓到高真空區(qū)域（10 ⁵至5×10 ^-8 Pa）（當(dāng)同時使用GPM和GAM時）。
• 可以連接不同量程的探頭，使用
  多離子規(guī)可以根據(jù)應(yīng)用選擇探頭。
• 準(zhǔn)確的大氣壓測量
  輕松，準(zhǔn)確地確認(rèn)大氣壓（使用GAM時）
• 低環(huán)境負(fù)荷
  可以降低運行成本，因為只有在需要時才可以更換觸點。
• 
  配備能檢查異常情況的LED，提高了可見度
• 
  易于維護(hù)可更換探頭
• 每種模式（組合模式）的
  規(guī)格GMi + GPM（離子計+皮拉尼表）
  GMi + GPM + GAM（離子計+皮拉尼表+大氣壓傳感器）
• 測量值輸出信號
  壓力為0-10V輸出（對數(shù)輸出）
• 控制輸出信號
  設(shè)定值3點可輸出（GMi-1）
• 可以進(jìn)行串行通訊規(guī)格
  RS232C / RS485通訊（GMi-2）
• 符合
  CE標(biāo)準(zhǔn)

用

• 用于各種制造設(shè)備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的高真空區(qū)域中的過程控制
• 在具有多個處理腔室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域（例如在線型和單晶圓型）中確定極限壓力
• 高真空/超高真空設(shè)備的壓力測量

規(guī)范

每種模式的規(guī)格

GMi-1 / GMi-2可以從三種用途中選擇：多離子壓力計單模，帶皮拉尼壓力計的組合模式以及帶皮拉尼壓力計和大氣壓傳感器的三重組合模式。

模式	GMi-1 / GMi-2  獨立模式	GMi-1 / GMi-2 + GPM コンビネーションモード	GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM コンビネーションモード
測定圧力範(fàn)囲	5 × 10-8 ～ 1 × 101 Pa	5 × 10-8 ～ 1 × 104 Pa	5 × 10-8 ～ 1 × 105 Pa
測定精度	5 × 10-8 ～ 1 × 101 Pa± 15 %	5 × 10-8 ～ 1 × 103 Pa：± 15 % 1 × 103 ～ 3.0 × 103 Pa：± 30 % 3.0 × 103 ～ 1.0 × 104Pa：精度保証なし	5×10 -8至1×10 3 Pa：±15％ 1×10 3至3.0×10 3 Pa：±30％ 3.0×10 3 至1.0×10 4 Pa：無精度保證 1.0×10 4至1.0× 10 5 Pa：±3％FS  （3×10 3 Pa，參考溫度25°C）
重復(fù)性	1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa：Pa±2％
接線圖（示例）

尺寸圖

單位：毫米
*規(guī)格或建議零售價如有變更，恕不另行通知。

日本shibaura多離子規(guī)真空計 GMi系列